반도체 장비에서 열전소자가 사용되는 곳은 많습니다.
특히 전공정에서는 약품의 보관등에 뛰어난 내구성을 가지고 사용되며 후공정에서는 D-Ram, Mobile Memory, nand Flash memory 같은 메모리 온도 시험 테스트에 널리 사용되어 집니다.
당사가 공급하는 반도체 장비에 관한 내역은 아래와 같습니다.
품 명 | 최대 온도 구현범위 | 최대크기 | 온도 정밀도 | 비 고 사 항 |
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냉각플레이트 | -60℃ ~ 80℃ | 1m x 2 m | +/- 0.1 ℃ | 질소 챔버내 사용 |
메모리 냉각 테스터 | -60℃ ~ 80℃ | 40x40x70 mm | +/- 0.1 ℃ | 사용중 제습 없음 |
소켓쿨러 | -60℃ ~ 80℃ | 40x40x70 mm | +/- 0.1 ℃ | 사용중 제습 없음 |
시료 냉온기 | -20℃ ~ 80℃ | 400x300x250 mm | +/- 0.1 ℃ | 시료 연속 투출 냉각 (배터리라인) |